In der Fertigungshalle ist das Backen des Photoresists keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine zwingende Vorgabe. Um es klar auszudrücken: Eine Abweichung von 2°C in der Temperatur während des Backvorgangs führt zu Ungenauigkeiten in den kritischen Dimensionen – und solche Ungenauigkeiten bleiben nicht klein. Sie vermehren sich schnell.
Der durchsichtige Quarz-Infrarotstrahler mit 2700 W Leistung wurde entwickelt, um diese Unberechenbarkeiten auszuschließen.
Was technisch wichtig ist: Wenn man den Strahler mit 2700 W betreibt, entsteht schnell Wärme, die gleichmäßig bleibt – es gibt keinen thermischen Verzug. Die Infrarotstrahlung trifft direkt auf das Zielobjekt, sodass keine Energie verschwendet wird, um die Umgebungstemperatur zu erhöhen. Dadurch bleibt die thermische Situation vorhersehbar.
Quarz sorgt für hohe Reinheit und geringe Gasemissionen. Zudem sorgt der durchsichtige Korpus dafür, dass die optische Transmission konstant bleibt – dadurch verhält sich die Strahlung genau wie erwartet. Das Ergebnis ist eine Konstanz von ±0,1°C in der gesamten Backzone.
Warum das für die Lithografie und den Photoresist-Verarbeitungsprozess geeignet ist: In der Lithografie und beim Photoresist-Verarbeitungsprozess kann man nicht zwischen Konstanz und Reinheit wählen – man benötigt beides. Dieser Strahler eignet sich hervorragend für Reinräume der Klasse 1–100 und ist so konzipiert, dass keine Partikel entstehen. Somit muss man keine Verluste durch Kontaminationen während des Backvorgangs befürchten.
Die Leistung von 2700 W verkürzt die Aufwärmzeit, verkürzt die Zykluszeit und hilft dabei, die Prozessstabilität zu gewährleisten. Da die Wärme nach Bedarf abgegeben wird, wird keine Energie unnötig in den Rahmen geleitet.
Was bei der Installation berücksichtigt werden muss: Bei der Installation sind vor allem der Abstand sowie die Ausrichtung des Reflektors wichtig – das sind die Faktoren, die zur Erreichung der gewünschten Konstanz von ±0,1°C beitragen. Überprüfen Sie unbedingt die Kompatibilität der Anschlüsse, die Befestigung sowie den Luftstrom im Verhältnis zum thermischen Profil des Strahlers. Ein ungünstiger Luftstrom führt zu Gradienten – dann müssen Sie falsche Ursachen bekämpfen.
Planen Sie den Austausch des Strahlers in Zeiten, in denen keine Produktionsarbeiten stattfinden. Quarz ist zwar widerstandsfähig, aber er altert dennoch. Passen Sie den Strahler optimal an den Prozess an – dann bleibt der Prozess unter Kontrolle.