Při teplotním kolísání o 5 % během procesu měkkého zahřívání fotorezisty dojde rychle ke změnám kritických rozměrů. OLED konstrukce to okamžitě ukáže. Sušička musí dosáhnout nastavené teploty, udržet ji a opakovat tento proces znovu a znovu. Naše sušicí lampy určené k výrobě OLED displejů jsou navrženy právě pro tuto situaci.
Co je důležité v podstatě
Používáme technologii NIR s přesnou kontrolou spektra – energie tak působí tam, kde ji fotorezistent a substrát absorbuje, a ne na ohřev celé komory. Cílem je dosáhnout tepelné jednotnosti na úrovni čipů na hodnotě ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost nastavené teploty musí být stejná. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní po celou dobu provozu – mezi údržbami trvá více než 5 000 hodin a odchylka intenzity je menší než 5 %. Konstrukce lampy je vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Navíc konstrukce nevytváří žádné částice – žádné uvolňování látek, žádné olupování, žádné „horké body“.
Proč se hodí do litografie OLED a zpracování fotorezistů
V litografii OLED je potřeba mít konzistentní profily měkkého a tvrdého zahřívání, aby byla zachována tloušťka vrstev, jejich adheze a odstranění okrajových částí. Tato lampa udržuje teplotní parametry v požadovaném rozmezí, takže výsledky expozice zůstávají konzistentní a je potřeba méně oprav. Rychlá tepelná reakce zkracuje dobu procesu, zatímco precizní profil energie snižuje spotřebu energie. To umožňuje lepší výsledky a méně problémů spojených se zahříváním.
Co můžete očekávat po instalaci
Lampa je navržena tak, aby mohla být instalována do stávajících sušiček, ale integrace stále závisí na geometrii komory a průtoku vzduchu. Plánujte krátký čas na kalibraci lampy podle vašich potřeb. Jakmile bude lampa správně nakonfigurovaná, údržba bude jednoduchá – stačí včas vyměnit lampy a udržovat optiku v čistotě. Systém pak bude dodržovat požadované parametry.