ফটোরেজিস্ট সফট বেকিংয়ের সময় ৫% তাপমাত্রা পরিবর্তন হলেই ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো দ্রুত পরিবর্তিত হয়। OLED স্ট্যাকগুলোও এর প্রভাব তৎক্ষণাৎ দেখায়। ড্রায়ারটিকে নির্ধারিত তাপমাত্রায় থাকতে হয়; এবং এটা বারবার করতে হয়। আমরা OLED উৎপাদনের জন্য ঠিক এই উদ্দেশ্যেই ড্রায়িং ল্যাম্পটি তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা NIR ব্যবহার করি; এখানে স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণ খুবই কঠোর। ফলে শক্তি সরাসরি ফটোরেজিস্ট ও সাবস্ট্রেটে প্রবেশ করে; চেম্বারকে উত্তপ্ত করে না। লক্ষ্য হলো ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এ থাকা; আর সেটপয়েন্টটিও একই থাকে। আউটপুটটি ২৪ ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল থাকে; আউটপুট রক্ষণাবেক্ষণের মধ্যে ৫,০০০+ ঘণ্টা সময় থাকে, আর ইন্টেন্সিটির পরিবর্তন < ৫% হয়। এটা ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত; আর এর ডিজাইনের কারণে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না—না কোনো গ্যাস নির্গত হয়, না কোনো ফ্লেকিং হয়, না কোনো হট স্পট থাকে।
কেন এটা OLED লিথোগ্রাফি ও ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
OLED লিথোগ্রাফিতে স্থিতিশীল সফট/হার্ড বেকিং প্রয়োজন; যাতে থিকনেস, অ্যাডহেসিভিটি ও এজ বিড রিমুভাল ঠিক থাকে। এই ল্যাম্পটি তাপমাত্রাকে নির্ধারিত সীমার মধ্যে রাখে; ফলে এক্সপোজার ল্যাটিটিউড স্থিতিশীল থাকে, আর রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়। দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়ার কারণে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়; আর ফোকাসড এনার্জি প্রোফাইলের কারণে এনার্জি খরচও কমে যায়। ফলে ইউইল্ড উন্নত হয়, আর প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলে।
এটা ব্যবহার করলে কী হবে?
এই ল্যাম্পটি বিদ্যমান ড্রায়ারগুলোতে ব্যবহার করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; কিন্তু ইন্টিগ্রেশনটি চেম্বারের জ্যামিতি ও এয়ারফ্লোর উপর নির্ভর করে। আপনার রেজিস্ট স্ট্যাক ও সাবস্ট্রেট স্ট্যাকের জন্য প্রোফাইলটি ঠিক করার জন্য অল্প সময় দরকার। একবার ঠিক হয়ে গেলে, রক্ষণাবেক্ষণটি সহজ হয়ে যায়—নির্ধারিত সময়ে ল্যাম্পগুলো প্রতিস্থাপন করলেই হয়; আর সিস্টেমটি আপনার প্রয়োজনীয় মানগুলো বজায় রাখবে।