في خط إنتاج بطول 300 مم، فإن اختلاف درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية أثناء عملية التسخين كافٍ لإفساد التحكم في الأبعاد الحرجة، وبالتالي تأثير ذلك على جودة المنتج النهائي. لذلك، قمنا بتطوير منصة الأضواء فائقة الترددات تحت الحمراء للتغلب على هذه المشكلة. المهم ليس فقط التسخين، بل أيضًا الاستقرار الحراري.
ما يهم حقًا هو أن طاقة الأضواء فائقة الترددات تُمتص بسرعة داخل طبقة الفوتوريزست، وبالتالي لا يوجد صراع مع الخصائص الحرارية للسطح المستخدم في الإنتاج. تحافظ أضوانا على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة داخل نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن دقة التحكم في درجة الحرارة تصل إلى ±0.2 درجة مئوية. وقت الاستجابة أقل من 50 مللي ثانية، مما يضمن أن يتم التحكم في درجة الحرارة بدقة دون أي تجاوزات.
التوافق مع بيئات الغرف النظيفة متوفر بشكل طبيعي، ولا حاجة إلى تركيب أجهزة إضافية لتحقيق ذلك. نستخدم مواد تتوافق مع المعايير من الفئة 1 إلى 100، كما نحرص على عدم تكون أي جسيمات، ونوجه تدفق الغازات بحيث لا تؤثر على مسار الإشعاع. الغلافات الكوارتزية وتصميم المرايا يساعدان في تقليل الضوء الزائد، وبالتالي لا يحدث أي تأثير كيميائي أثناء عملية التسخين.
في عملية الطباعة، يحدد نوع التسخين مقدار المذيب المستخدم ويضمن استقرار خصائص الفوتوريزست. التحكم الدقيق في درجة الحرارة يساعد في تقليل عدم انتظام عرض الخطوط وضمان توحيد الخصائص. يساعد التماسك الحراري الناتج عن الأضواء فائقة الترددات في تقليل مدة عملية التسخين، مع الحفاظ على التحكم في الخصائص، وبالتالي يزيد من كفاءة الإنتاج دون إنتاج حرارة زائدة.
النتيجة هي أبعاد حرجة مستقرة، وانخفاض في كمية المواد الفاسدة، بالإضافة إلى استقرار في جودة المنتج من دفعة إلى أخرى. كما ينخفض استهلاك الطاقة، لأن الطاقة تذهب إلى المكان الصحيح، أي إلى طبقة الفوتوريزست، وليس إلى أجهزة التسخين.
بعض الملاحظات العملية: تحتاج الأضواء فائقة الترددات إلى توجيه بصري دقيق وبيئة حرارية نظيفة ومركزة. لا يجب استخدامها مع مصادر ضوء ذات نطاق واسع، إلا إذا تم تعديل تصميم المرايا والمرشحات. معايير التركيب دقيقة، وإذا كان حجم الحواجز غير كافٍ، فقد يحدث تداخل حراري بين المناطق المجاورة.
يجب التخطيط لاختبار قصير لتحديد نقاط الحرارة العالية وضبط جهاز قياس درجة الحرارة ليتناسب مع خصائص الفوتوريزست الفعلية. بمجرد ضبط ذلك، ستظل العملية مستقرة.